上期介绍了ASML，从中国人处获取开发思路，成功研发出EUV光刻机，成世界第一，然而却禁止卖给中国大陆企业，义愤填膺。 本期讲讲我国距离高端EUV光刻机还有多远？ EUV光刻机由近10万个零部件组成，其核心由EUV光源、双工件台和投影镜头三部分。 EUV光源是其核心中的核心，为设备提供正常工作所需的光驱动力，而高端CO2激光器又是EUV光源更基础的核心设备，是“光源中的光源”，目前，EUV光源唯一供应商是德国的TRUMF公司。 双工件台就是有两个工件台，可同时运行，相互独立，一台做曝光时，另一台同时做曝光前的准备工作，曝光完后，两工件台互换位置和职能，极大的提高了工作效率。 我国光刻机的现状 国家2008年就扶持启动了芯片设备的02专项项目，近10年内在光刻机上倾金如水，但是这样还不够，毕竟西方国家几十的技术积累，不是一朝一夕能够追赶上的，需要时间和足够的信念去去坚持。 目前，我国最先进的光刻机企业，是上微电子，其已经量产了90nm制程的光刻机，广泛应用于半导体行业，28nm 制程一直测试阶段。同ASML相比，主要还是三大件技术的问题需要解决。 最近有消息称，清华大学已经掌握可用于EUV光源，同时，中科院所承建的国内首台高能光源同步辐射科研设备安装完成度已经达到70%，预计主体建筑部分明年便可投入使用，未来五年内有望量产EUV光源。 双工台件，我国打破了ASML的技术垄断，由清华大学机械工程系教授朱煜带领下，华卓精科的光刻机双工台件已经研发成功，据悉，该项目“申请专利231项，其中41项为国际发明专利，122项已获得授权，一举使华卓精科成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司，2021年华卓精科推出可用于浸没式28nm光刻机的DWSi系统双工件台，使我国在双工台件方面追上了世界先进水平。 总结 2018年华为的疼，让我们看清了美国霸权和美国双标，觉醒的国人明白只有自己有技术，才能不被轻视，被受制于人。 华为已经蛰伏了三年了，没有高端麒麟芯片，华为的5G手机已经无法再续，有传闻华为在招聘光刻机工程师，华为力量是有目共睹的，麒麟芯片、鸿蒙系统、5G技术，每个都是堪称“王炸”，希望华为奇迹再续，五年后麒麟12800（自取型号）在显江湖，用自己的EUV光刻机再见江湖。 文/文旅